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文章概述：真空式检测是一种常见的检测方法，用于检测物体或环境中的真空程度。
常用的真空式检测仪器有：
1.真空计：用于测量真空度的仪器，常见的有热阴极离子化真空计、冷阴极离子化真空计
真空式检测是一种常见的检测方法，用于检测物体或环境中的真空程度。
常用的真空式检测仪器有：
1.真空计：用于测量真空度的仪器，常见的有热阴极离子化真空计、冷阴极离子化真空计、热电式真空计等。
2.真空泵：用于排除气体，创造真空环境的设备，常见的有旋转叶片式真空泵、分子式真空泵、扩散式真空泵等。
3.真空室：用于容纳被检测物体的密封容器，具有良好的真空性能和结构强度。
