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文章概述：涂硼装置检测需要使用以下仪器：
1. 电子天平：用于测量样品的质量。
2. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察涂硼层的表面形貌和结构。
3. 能量色散 X 射线光谱仪（EDS）：用于分析涂硼层的元
涂硼装置检测需要使用以下仪器： 1. 电子天平：用于测量样品的质量。 2. 扫描电子显微镜（SEM）：用于观察涂硼层的表面形貌和结构。 3. 能量色散 X 射线光谱仪（EDS）：用于分析涂硼层的元素组成。 4. X 射线衍射仪（XRD）：用于分析涂硼层的晶体结构。 5. 硬度计：用于测量涂硼层的硬度。 6. 摩擦磨损试验机：用于测试涂硼层的摩擦磨损性能。 7. 热重分析仪（TGA）：用于分析涂硼层的热稳定性。 8. 差示扫描量热仪（DSC）：用于分析涂硼层的相变温度和热焓。 9. 电化学工作站：用于测试涂硼层的电化学性能。 10. 表面粗糙度仪：用于测量涂硼层的表面粗糙度。
