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文章概述：三坐标测量仪：可对物体进行三维测量和定位，用于检测图像定位的准确性。
激光干涉仪：通过测量激光干涉条纹的变化来检测物体的位移和定位精度。
影像测量仪：利用光学成像原理对物
三坐标测量仪：可对物体进行三维测量和定位，用于检测图像定位的准确性。
激光干涉仪：通过测量激光干涉条纹的变化来检测物体的位移和定位精度。
影像测量仪：利用光学成像原理对物体进行非接触式测量，可检测图像的尺寸、形状和位置等参数。
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