微标度检测是对微小尺寸物体或结构进行精确测量和分析的过程。

表面形貌检测：通过扫描电子显微镜（SEM）或原子力显微镜（AFM）等技术，观察微标度物体的表面形态和特征。

尺寸测量：使用光学显微镜、激光干涉仪或扫描探针显微镜等工具，测量微标度物体的长度、宽度、高度等尺寸参数。

厚度测量：如薄膜厚度的测量，可采用椭圆偏振仪、X 射线反射仪等方法。

粗糙度测量：评估微标度表面的粗糙度，常用的方法有轮廓仪、AFM 等。

成分分析：通过能谱分析（EDS）、X 射线光电子能谱（XPS）等技术，确定微标度物体的化学成分。

晶体结构分析：利用 X 射线衍射（XRD）等方法，研究微标度物体的晶体结构。

力学性能测试：如微硬度测试、纳米压痕测试等，评估微标度物体的力学性能。

热性能测试：测量微标度物体的热导率、热膨胀系数等热性能参数。

电学性能测试：检测微标度物体的电阻、电容、电导等电学特性。

光学性能测试：包括透光率、反射率、折射率等光学性能的测量。

磁性能测试：如磁化强度、磁导率等磁性能的测定。

生物相容性测试：评估微标度材料与生物体的相互作用和相容性。

环境适应性测试：考察微标度物体在不同环境条件下的性能稳定性。

可靠性测试：通过加速老化、疲劳测试等方法，评估微标度物体的可靠性和耐久性。

无损检测：如超声检测、X 射线检测等，在不破坏微标度物体的情况下进行检测。

微纳加工质量检测：对微纳加工过程中的工艺质量进行评估和控制。

微流控芯片检测：检测微流控芯片的通道尺寸、表面粗糙度、流体性能等。

纳米材料检测：对纳米材料的粒径、形貌、结构等进行分析和测试。

量子点检测：评估量子点的光学性能、尺寸分布等特性。

微机电系统（MEMS）检测：检测 MEMS 器件的性能、可靠性和封装质量。

微传感器检测：测试微传感器的灵敏度、线性度、分辨率等参数。

微执行器检测：评估微执行器的输出力、位移、响应时间等性能。

微光学元件检测：测量微光学元件的焦距、像差、透过率等光学参数。

微流体检测：检测微流体系统中的流量、压力、混合效率等参数。

微电池检测：评估微电池的容量、循环寿命、充放电性能等。

微生物检测：检测微生物的种类、数量、活性等。

细胞检测：分析细胞的形态、结构、功能等特性。

蛋白质检测：测定蛋白质的浓度、分子量、结构等。

DNA 检测：检测 DNA 的序列、长度、突变等。

RNA 检测：分析 RNA 的种类、表达水平等。

药物检测：检测药物的含量、纯度、活性等。

食品安全检测：对食品中的微生物、农药残留、重金属等进行检测。