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文章概述：氦质谱检漏法：通过检测氦气的泄漏来确定密封是否良好。
压力变化检测法：测量密封系统内部压力的变化来判断是否存在泄漏。
真空度检测法：检测密封系统的真空度是否达到要求。
氦质谱检漏法：通过检测氦气的泄漏来确定密封是否良好。
压力变化检测法：测量密封系统内部压力的变化来判断是否存在泄漏。
真空度检测法：检测密封系统的真空度是否达到要求。
气体泄漏检测法：使用特定的气体检测仪器来检测是否有气体泄漏。
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