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文章概述：分光光度计：用于测量光栅的光谱特性。
X 射线衍射仪：用于分析光栅的晶体结构。
原子力显微镜：用于观察光栅的表面形貌。
激光干涉仪：用于检测光栅的平整度和精度。
分光光度计：用于测量光栅的光谱特性。
X 射线衍射仪：用于分析光栅的晶体结构。
原子力显微镜：用于观察光栅的表面形貌。
激光干涉仪：用于检测光栅的平整度和精度。
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