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文章概述：衍射效率测试：通过测量衍射光的强度与入射光强度的比值，来评估光栅的衍射效率。
分辨率测试：利用光栅对不同波长的光进行衍射，观察衍射条纹的清晰度和分辨率。
波长测量：通过衍射
衍射效率测试：通过测量衍射光的强度与入射光强度的比值，来评估光栅的衍射效率。
分辨率测试：利用光栅对不同波长的光进行衍射，观察衍射条纹的清晰度和分辨率。
波长测量：通过衍射光栅对已知波长的光进行衍射，测量衍射角，从而确定光栅的刻线密度和波长。
平整度检测：使用干涉仪或其他表面形貌测量设备，检测光栅表面的平整度和粗糙度。
损伤检测：使用显微镜或其他成像技术，检查光栅表面是否存在划痕、裂纹或其他损伤。
