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文章概述：真空量检测是用来检测真空系统中的气体压力和真空度的方法。
常用的真空量检测方法包括：
1. 热导检测：利用热导材料的导热性质来测量气体与导热材料之间的传热量，从而计算出气
真空量检测是用来检测真空系统中的气体压力和真空度的方法。
常用的真空量检测方法包括：
1. 热导检测：利用热导材料的导热性质来测量气体与导热材料之间的传热量，从而计算出气体的压力。
2. 空气透过性检测：通过测量气体渗透薄膜的速率来判断真空度。
3. 壳体泄漏率测试：将被测物置于真空环境中，通过测量真空度的变化来判断壳体的泄漏率。
4. 质谱法：利用质谱仪测量气体中不同质量的离子的相对丰度，根据质量谱图可以得出气体的组成和压力。
