外延气相生长检测通常包括以下项目：

薄膜厚度测量：使用干涉仪、轮廓仪等设备测量外延层的厚度。

成分分析：通过 X 射线衍射、俄歇电子能谱等技术分析外延层的化学成分。

晶体结构分析：利用 X 射线衍射、电子衍射等方法研究外延层的晶体结构。

表面形貌观察：使用扫描电子显微镜、原子力显微镜等观察外延层的表面形貌。

电学性能测试：测量外延层的电阻率、载流子浓度等电学参数。

光学性能测试：测定外延层的吸收系数、折射率等光学特性。

杂质含量检测：检测外延层中的杂质元素及其含量。

缺陷检测：如位错、晶界等缺陷的检测。

应力测试：评估外延层中的应力分布情况。

均匀性测试：检查外延层在整个样品上的均匀性。

热稳定性测试：考察外延层在高温环境下的稳定性。

化学稳定性测试：研究外延层对化学物质的抵抗能力。

生长速率测量：确定外延层的生长速度。

界面特性分析：研究外延层与衬底之间的界面特性。

结晶质量评估：评估外延层的结晶质量。

量子效率测试：对于光电器件，测量外延层的量子效率。

发光性能测试：检测外延层的发光强度、波长等参数。

载流子迁移率测试：测定外延层中载流子的迁移率。

热导率测试：测量外延层的热导率。

硬度测试：评估外延层的硬度。

弹性模量测试：确定外延层的弹性模量。

热膨胀系数测试：测量外延层的热膨胀系数。

表面粗糙度测试：检测外延层的表面粗糙度。

附着力测试：评估外延层与衬底之间的附着力。

耐腐蚀性测试：研究外延层的耐腐蚀性能。

封装性能测试：对于封装后的外延器件，进行相关性能测试。

可靠性测试：评估外延器件在长期使用中的可靠性。

环境适应性测试：考察外延器件在不同环境条件下的性能表现。

失效分析：对外延器件的失效原因进行分析。