外延片检测是对半导体外延片进行的一系列测试和分析，以确保其质量和性能符合要求。

厚度测量：使用光学或机械方法测量外延片的厚度。

电阻率测试：确定外延片的电阻率。

载流子浓度测试：测量外延片中的载流子浓度。

迁移率测试：评估载流子在电场中的迁移能力。

晶体结构分析：如 X 射线衍射，确定外延片的晶体结构。

表面平整度测试：检查外延片表面的平整度。

粗糙度测试：测量外延片表面的粗糙度。

缺陷检测：如位错、裂纹等缺陷的检测。

成分分析：确定外延片中的元素组成。

光学性能测试：如折射率、吸收系数等。

发光性能测试：测量外延片的发光强度和波长。

电学性能测试：如电容、电阻等。

热稳定性测试：评估外延片在高温下的性能稳定性。

化学稳定性测试：检测外延片对化学物质的抵抗能力。

环境可靠性测试：模拟不同环境条件下外延片的可靠性。

量子效率测试：测量外延片的量子效率。

发光二极管（LED）特性测试：针对用于 LED 制造的外延片进行相关测试。

激光二极管（LD）特性测试：适用于 LD 外延片的检测。

太阳能电池特性测试：用于太阳能电池外延片的评估。

外延层厚度均匀性测试：检查外延层厚度的一致性。

外延层掺杂均匀性测试：评估外延层中掺杂剂的分布均匀性。

界面特性测试：分析外延片与衬底之间的界面特性。

晶格匹配度测试：确定外延片与衬底的晶格匹配程度。

外延生长速率测试：测量外延生长的速度。

外延片应力测试：评估外延片内部的应力情况。

外延片翘曲度测试：检查外延片的翘曲程度。

外延片弯曲度测试：测量外延片的弯曲程度。

外延片平整度测试：评估外延片表面的平整度。

外延片粗糙度测试：测量外延片表面的粗糙度。

外延片缺陷密度测试：确定外延片中缺陷的密度。

外延片电学性能稳定性测试：评估外延片电学性能在长时间使用中的稳定性。