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文章概述：真空电弧脱气检测主要用到的仪器有：
1. 真空脱气设备：用于创建和维持所需的真空环境。
2. 电弧发生装置：用于产生弧放电并创造高温等条件。
3. 气体分析仪：用于检测脱气过程中的
真空电弧脱气检测主要用到的仪器有：
1. 真空脱气设备：用于创建和维持所需的真空环境。
2. 电弧发生装置：用于产生弧放电并创造高温等条件。
3. 气体分析仪：用于检测脱气过程中的气体成分和浓度变化。
4. 高压电源：提供电弧发生装置所需的高压电源。
5. 压力控制器：用于控制真空脱气设备中的气体压力。
6. 温度控制器：用于控制电弧发生装置和脱气设备的温度。
7. 数据记录仪：用于记录和分析脱气过程中的相关数据。
