检测项目

1. 表面粗糙度：Ra≤0.5nm（原子力显微镜测量），Rz≤3nm（白光干涉仪测量）

2. 厚度均匀性：公差±0.01mm（激光测厚仪），局部偏差≤0.3μm/100mm

3. 平面度误差：≤λ/20@632.8nm（激光干涉仪），局部翘曲≤5μm/m²

4. 热膨胀系数：CTE(20-300℃)±0.05×10⁻⁶/℃，DSC法测量精度±0.01×10⁻⁶/℃

5. 残余应力：双折射法测量＜5nm/cm（波长632.8nm），应力分布均匀性＞90%

6. 化学稳定性：耐酸性（10%HCl@25℃）失重率＜0.1mg/cm²·h

7. 透光率：380-2500nm波段透过率＞92%，雾度值＜0.1%

检测范围

1. 光学级玻璃衬底：用于高精度透镜、棱镜等光学元件制造

2. 半导体用玻璃衬底：应用于MEMS传感器、晶圆级封装载板

3. 显示面板基板：涵盖LCD/OLED用高铝硅酸盐玻璃基板

4. 光伏玻璃衬底：包括薄膜太阳能电池用透明导电基板

5. 微电子封装玻璃：适用于3D TSV封装中介层材料

6. 特种功能玻璃：含低熔点封接玻璃、抗辐射屏蔽玻璃等

检测方法

ASTM C1036-21：平板玻璃表面质量目视检验规范

ISO 10110-5:2015：光学元件表面缺陷定量评估方法

GB/T 7962.1-2021：无色光学玻璃测试方法-应力双折射测定

ISO 11455:2016：非接触式激光干涉平面度测量技术规范

GB/T 33814-2017：微晶玻璃热膨胀系数测试规程

ASTM E1331-15(2020)：光谱透射比测量标准试验方法

JIS R3252:2016：基板玻璃化学耐久性测试规程

检测设备

ZYGO NewView 9000：三维表面轮廓仪，垂直分辨率0.1nm

Mitutoyo LSM-9030：激光扫描显微镜，最大倍率50000×

Tropel FlatMaster®300：全自动平面度测量系统，精度λ/100

Netzsch DIL 402 Expedis Classic：热膨胀系数测定仪，温度范围-160~1550℃

Shimadzu UV-3600i Plus：紫外可见近红外分光光度计，波长范围185~3300nm

Bruker ContourGT-X3：白光干涉表面形貌仪，扫描速度50μm/s

HORIBA Jobin Yvon UVISEL 2：椭偏仪薄膜厚度测量系统，精度±0.1nm

Instron 5969：万能材料试验机，最大载荷50kN

Olympus BX53M：偏光应力分析显微镜，双折射分辨率0.1nm/cm

Keyence VHX-7000：数字显微系统，景深扩展功能实现20mm³三维重构

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。