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文章概述：冷阴极电离规检测是一种用于高真空至超高真空环境测量的精密技术，其核心在于评估电离规的灵敏度、线性度及稳定性等关键参数。检测需严格遵循ASTM、ISO及GB/T标准，覆盖压力范围1×10⁻⁵Pa至1×10⁻²Pa的校准与性能验证，适用于半导体制造、航天器件等领域的真空系统质量控制。
检测项目
1.压力范围测量：覆盖110⁻⁵Pa至110⁻Pa的线性响应验证。
2.灵敏度校准：通过标准漏孔法测定电离规输出电流与压力比值（单位：A/Pa）。
3.线性度误差分析：在量程范围内偏差不超过5%。
4.长期稳定性测试：连续运行48小时漂移量≤3%。
5.响应时间测定：从10%至90%满量程信号上升时间≤2秒。
检测范围
1.高真空镀膜设备用冷阴极规管。
2.半导体制造工艺中的干泵系统真空监测模块。
3.航天器推进剂贮箱真空维持装置。
4.同步辐射光源束线真空腔体传感器。
5.低温超导磁体杜瓦瓶真空密封系统。
检测方法
1.ASTME296-17《StandardPracticeforIonizationGaugeTesting》规定基础性能测试流程。
2.ISO3567:2011《Vacuumgauges-Calibrationbydirectcomparisonwithareferencegauge》校准方法。
3.GB/T34873-2017《冷阴极电离真空计检定规程》规定计量特性要求。
4.ASTMF1375-92(2020)针对半导体设备用规管的氦气兼容性测试。
5.GB/T32218-2015《真空技术冷阴极电离真空计》性能参数定义标准。
检测设备
1.INFICONColdCathodeGaugeCC-200：量程110⁻⁸至110⁻Torr，带RS485通讯接口。
2.AgilentColdCathodeGauge5711：专用于快速响应场景的磁控管型传感器。
3.LeyboldTURBOVACiONSeries：集成式控制器与规管系统，支持多通道同步采集。
4.EdwardsActiveColdCathodeGaugeXT760：耐腐蚀设计，适用于化学气相沉积环境。
5.PfeifferVacuumPKR251：全量程覆盖（510⁻⁰至1000mbar）的复合型传感器。
6.CanonAnelvaMRG-3G：超高真空兼容磁悬浮转子规对比校准装置。
7.MKSInstrumentsGranville-PhillipsStabil-Ion：带自清洁功能的宽量程传感器。
8.UlvacGI-M2：日本工业标准（JISZ8750）认证的基准校准系统。
9.KurtJ.LeskerColdCathodeGaugeCCG1000：经济型工业级传感器模块。
10.VarianUHV-24P：适用于粒子加速器等极端环境的全金属密封规管。
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
