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文章概述：六氟化钨（WF₆）是一种高毒性、强腐蚀性气体，广泛应用于半导体制造和金属蚀刻工艺。其检测需严格遵循安全规范及技术标准，核心指标包括纯度、杂质含量、气体泄漏率等。本文从检测项目、方法、设备及适用范围等方面系统阐述六氟化钨的专业检测流程，重点解析气相色谱、质谱联用等关键技术的应用要点。
检测项目
1. 纯度分析：WF₆体积分数≥99.995%（GC-MS法）
2. 水分含量：H₂O≤5ppm（卡尔费休库仑法）
3. 金属杂质：Fe≤0.5ppm、Ni≤0.3ppm（ICP-MS法）
4. 气体杂质：O₂≤10ppm、N₂≤15ppm（气相色谱法）
5. 酸度值：HF残留量≤20ppm（离子色谱法）
检测范围
1. 电子级WF₆气体（半导体晶圆蚀刻原料）
2. 特种气体储罐（316L不锈钢容器密封性验证）
3. 金属表面处理液（铝/钼合金蚀刻剂成分分析）
4. CVD工艺尾气（化学气相沉积反应副产物监测）
5. 工业废气处理系统（洗涤塔排放气体合规性检测）
检测方法
1. ASTM E260-2019《气相色谱法测定六氟化物纯度》
2. ISO 21484:2017《质谱法测定金属卤化物中痕量元素》
3. GB/T 5832.2-2016《电子工业用气体中水分的测定》
4. IEC 61207-6:2018《气体传感器性能评价规范》
5. GB 18883-2022《工作场所空气有毒物质测定》
检测设备
1. Agilent 7890B气相色谱仪（配备FID/TCD双检测器）
2. Metrohm 899 Coulometer库仑法水分测定仪
3. Thermo iCAP RQ ICP-MS电感耦合等离子体质谱仪
4. INFICON HAPSITE ER便携式质谱气体分析仪
5. MKS MultiGas™ 2030 FTIR傅里叶红外光谱系统
6. Dräger X-am® 8000多参数气体检测仪
7. Shimadzu GCMS-QP2020 NX气质联用仪
8. HORIBA VA-5000在线气体分析系统
9. AMETEK 5100E氧分析仪（极限灵敏度0.1ppm）<10.PANametrics XGM868超声波气体泄漏探测器
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
