检测项目

1. 厚度测量：使用台阶仪测量0.1-500μm范围厚度偏差≤±2%

2. 表面粗糙度：原子力显微镜分析Ra≤10nm的表面平整度

3. 方阻测试：四探针法测量5-500Ω/sq的电阻均匀性

4. 附着力测试：划格法评估ASTM D3359 B级标准下的结合强度

5. 耐腐蚀性：盐雾试验箱模拟5% NaCl溶液96小时腐蚀测试

检测范围

1. 金属薄膜电极：包括Au、Al、Cu等真空镀膜电极

2. 透明导电氧化物：ITO、FTO等可见光透过率≥85%的材料

3. 聚合物基柔性电极：PEDOT:PSS导电高分子复合材料

4. 纳米复合电极：碳纳米管/石墨烯复合导电层

5. 合金电极：NiCr、TiW等高温合金溅射薄膜

检测方法

1. ASTM B748-90(2021)：台阶仪厚度测量标准方法

2. ISO 14705:2016：显微硬度法附着力测试规范

3. GB/T 1552-2021：半导体材料电阻率测试通则

4. ISO 9227:2022：人造大气腐蚀盐雾试验标准

5. GB/T 2523-2008：冷轧金属薄板表面粗糙度测定

检测设备

1. KLA Tencor Alpha-Step D-600：0.1Å分辨率台阶仪

2. Keysight B2902A精密源表：0.1fA-3A电流测量系统

3. Bruker Dimension Icon原子力显微镜：0.1nm垂直分辨率

4. Four Dimensions 4D FS300四探针台：自动多点方阻测试系统

5. Q-FOG CCT1100盐雾试验箱：循环腐蚀环境模拟装置

6. Mitutoyo SJ-410表面粗糙度仪：16μm量程轮廓分析仪

7. Instron 5943万能材料试验机：0.5N-2kN拉力测试系统

8. Thermo Scientific ESCALAB Xi+ XPS：表面元素分析系统

9. Hitachi SU8010场发射电镜：1nm分辨率形貌观测设备

10. Agilent 4294A阻抗分析仪：40Hz-110MHz频率响应测试仪

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。