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文章概述：1. 光学显微镜：用于观察流道表面的形态和结构，以检测是否存在缺陷或异常。
2. 三坐标测量仪：用于测量流道的几何尺寸和形状，以确保其符合设计要求。
3. 真空检测仪：用于检测流道
1. 光学显微镜：用于观察流道表面的形态和结构，以检测是否存在缺陷或异常。
2. 三坐标测量仪：用于测量流道的几何尺寸和形状，以确保其符合设计要求。
3. 真空检测仪：用于检测流道中的气体泄漏情况，以保证流道的密封性。
4. 压力传感器：用于测量流道中的液体或气体的压力，以分析流道的流动性能和压力分布。
5. 热电偶温度计：用于测量流道的温度，以分析流道的热性能和温度分布。
6. 示波器：用于测量流道中的电信号，以分析流道的电性能和信号传输质量。
