检测项目

1.压力容器密封性测试：工作压力0.1-40MPa范围泄漏率≤510⁻⁹mbarL/s2.真空系统漏率验证：极限真空度≤110⁻⁶mbar时漏率≤110⁻Pam/s3.密封元件渗透率测定：橡胶/金属界面渗透系数≤110⁻⁴mol/(msPa)4.管路焊接完整性检验：焊缝漏率阈值≤110⁻⁷mbarL/s（氦气浓度≥90%）5.电子器件封装测试：芯片级封装漏率≤510⁻atmcc/s

检测范围

1.航空航天：火箭燃料贮箱/航天器密封舱/航空发动机涡轮叶片2.半导体制造：晶圆加工腔体/高纯气体输送管道/光刻机真空系统3.核能装备：反应堆压力容器/核燃料棒包壳管/放射性物质密封罐4.医疗器械：人工心脏瓣膜/血液透析仪/医用加速器真空腔5.新能源电池：氢燃料电池双极板/锂电池铝塑膜封装/储氢罐复合材料

检测方法

1.ASTME499/E499M-20：真空喷氦法（示踪气体浓度50%-100%）2.ISO20486:2017：累积法测量（测试时间≥30min）3.GB/T12604.7-2021：正压吸枪法（探测距离≤5mm）4.ASTME1603-19：氦气背压法（加压时间≥4h）5.GB/T34632-2017：真空箱罩检法（真空度≤5Pa）6.ISO3530:2020：质谱分析法（分辨率≥300M）

检测设备

1.AgilentVSF-2240氦质谱检漏仪：四极杆质谱技术，最小可检漏率510⁻mbarL/s2.PfeifferVacuumHLT560：双通道传感器设计，响应时间＜0.5s3.INFICONELT3000：模块化系统集成自动校准功能4.LeyboldPHOENIXL300i：全金属密封结构耐压40bar5.Varian979系列：配备双灯丝离子源寿命＞10000h6.ShimadzuMS-Q1500GC：联用气相色谱实现杂质过滤7.EdwardsTIC系列：涡轮分子泵组抽速≥250L/s8.CanonANELVAMSD-700S：半导体级洁净度控制（AMC＜1μg/m）9.ULVACHELIOT系列：多探头同步扫描定位精度1mm10.KYKYLH-10A：国产高性价比机型满足GB/T34632标准

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。