检测项目

1.纯度测定：ClF₃体积分数≥99.8%，游离氟含量≤0.05%2.水分含量：卡尔费休法测定H₂O≤10ppm3.酸度指标：总酸度（以HF计）≤50ppm4.金属杂质：ICP-MS检测Fe≤0.5ppm、Ni≤0.3ppm5.气体成分：GC-TCD分析N₂≤200ppm、O₂≤50ppm

检测范围

1.半导体制造用蚀刻气体（硅基/化合物半导体）2.核工业铀浓缩设备密封材料（镍基合金/蒙乃尔合金）3.氟化反应器内衬材料（哈氏合金/聚四氟乙烯）4.特种钢表面处理液（马氏体时效钢/奥氏体不锈钢）5.电子级气体储运容器（316L不锈钢/镍钢复合罐体）

检测方法

1.ASTME260-96(2021)：气相色谱法测定主成分含量2.ISO12988-1:2000：库仑法测定总酸度3.GB/T28727-2012：红外光谱法鉴别特征吸收峰4.ASTME1064-12(2018)：卡尔费休滴定法测微量水5.GB/T33345-2016：电感耦合等离子体质谱法测痕量金属

检测设备

1.Agilent7890B气相色谱仪（配备TCD/FID双检测器）2.Metrohm917Coulometer库仑法水分测定仪3.ThermoiCAPRQICP-MS质谱仪（检出限0.01ppb）4.BrukerTENSORII傅里叶红外光谱仪（分辨率0.5cm⁻）5.MettlerToledoC30S全自动电位滴定仪6.HORIBAEMGA-920氧氮氢分析仪（精度0.05ppm）7.PerkinElmerClarus580GC-MS联用系统8.ShimadzuUV-2600i紫外分光光度计9.AMETEKDynachem300腐蚀速率测试系统10.AntonPaarDMA4500M密度计（精度0.0001g/cm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。