径迹扫描仪检测
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文章概述:检测项目1.径迹密度分析:测量单位面积内径迹数量(单位:tracks/cm),精度2%2.径迹直径分布:检测范围0.1-50μm,分辨率0.05μm3.径迹长度偏差:测量误差≤1.5%,适用长度范围5-200μm4.表面三维形貌重构:Z轴分辨率10nm,扫描速度20mm/min5.能量沉积特征分析:基于LET值(线性能量转移)计算能量分布梯度检测范围1.核能材料:铀燃料棒包壳、中子探测薄膜2.半导体器件:晶圆离子注入层、光刻胶残留分析3.生物医学样本:重离子放疗组织切片、细胞膜穿孔检测4.航天复合材料:防
检测项目
1.径迹密度分析:测量单位面积内径迹数量(单位:tracks/cm),精度2%2.径迹直径分布:检测范围0.1-50μm,分辨率0.05μm3.径迹长度偏差:测量误差≤1.5%,适用长度范围5-200μm4.表面三维形貌重构:Z轴分辨率10nm,扫描速度20mm/min5.能量沉积特征分析:基于LET值(线性能量转移)计算能量分布梯度
检测范围
1.核能材料:铀燃料棒包壳、中子探测薄膜2.半导体器件:晶圆离子注入层、光刻胶残留分析3.生物医学样本:重离子放疗组织切片、细胞膜穿孔检测4.航天复合材料:防辐射屏蔽层、热防护涂层5.地质年代测定:陨石裂变径迹、矿物晶体损伤分析
检测方法
1.ASTME1245-2016:带电粒子径迹统计分析方法2.ISO11929:2020:电离辐射测量不确定度评定标准3.GB/T28831-2012:固体核径迹探测器技术规范4.ISO18589-4:2019:环境放射性测量-径迹蚀刻法5.GB18871-2002:电离辐射防护与辐射源安全基本标准
检测设备
1.ThermoFisherTrackerProX3:配备5000万像素CMOS传感器,支持全自动径迹计数2.OlympusiTrack-SEM3000:集成场发射电镜的复合式径迹分析系统3.BrukerContourGT-K1:白光干涉三维轮廓仪,Z轴重复精度0.3nm4.ZeissAxioScan7:数字病理级扫描平台,支持荧光径迹识别5.HitachiTM4000Plus:桌面电镜系统,标配径迹测量软件包6.KeyenceVK-X3000:激光共聚焦显微镜系统,支持100mm大样品扫描7.LeicaDCM8:3D表面测量系统,横向分辨率0.12μm8.NikonEclipseTi2:倒置研究级显微镜,配置电动载物台自动拼接9.OxfordInstrumentsUltimMax170:能谱仪联用系统用于元素关联分析10.ShimadzuAIM-9000:红外热像仪集成式热效应监测装置
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。