检测项目

1.电场强度均匀性：测量范围0-50kV/cm，允许偏差≤2.5%2.绝缘电阻值：直流500V测试条件下≥10^12Ωcm3.聚焦精度误差率：电子束偏移量≤0.05μm@10kV工作电压4.温度漂移系数：-40℃~+85℃范围内≤0.003%/℃5.动态响应时间：阶跃电压下稳定时间≤15ms

检测范围

1.半导体晶圆蚀刻设备聚焦模块2.透射电子显微镜电子光学系统3.工业CT扫描仪高压发生器组件4.粒子加速器束流控制单元5.真空镀膜机电荷中和装置

检测方法

1.ASTMD1868-2018静电场分布测量规程2.IEC61340-4-1:2015绝缘材料表面电阻测试3.GB/T16927.1-2011高电压试验技术规范4.ISO14644-7:2004洁净环境静电控制标准5.GB/T17626.2-2018电磁兼容试验规范

检测设备

1.TrekModel347高压静电计：分辨率0.1V/m的场强测量2.KeysightB2987A静电计：10^3~10^16Ω电阻测量3.HipotronicsDC-1000耐压测试仪：0-100kV直流输出4.OphirPD300-PJ热电堆探头：μW级功率密度检测5.FlukeTi450红外热像仪：1℃温度场分析6.TektronixMDO3104示波器：200MHz带宽信号采集7.Agilent4294A阻抗分析仪：40Hz~110MHz频响测试8.Extech480846振动分析仪：0-20kHz机械稳定性监测9.Keithley2450源表：四象限精密电源输出10.Bruel&Kjaer2270声级计：背景噪声≤25dB(A)环境评估

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。