检测项目

1.调焦精度：重复定位精度≤0.1μm@20℃恒温环境2.动态响应特性：全行程调焦时间≤50ms（含图像处理延迟）3.对比度灵敏度：可识别灰度梯度≥256级（12bit相机）4.环境适应性：工作温度范围-10℃~50℃，湿度≤85%RH5.长期稳定性：连续运行72小时Z轴漂移量≤0.5μm

检测范围

1.光学玻璃：包括非球面透镜、菲涅尔透镜等曲面元件2.半导体晶圆：12英寸硅片表面微结构（线宽≥0.5μm）3.MEMS器件：加速度计/陀螺仪悬臂梁结构（厚度≥10μm）4.生物芯片：微流控通道深度（20-200μm）5.精密模具：V型槽角度公差0.05

检测方法

1.ISO12179:2021《光学和光子学激光共聚焦显微镜校准规范》2.ASTME2919-19《非接触式三维表面形貌测量标准指南》3.GB/T19863-2020《显微镜自动调焦系统测试方法》4.ISO25178-601:2019《产品几何技术规范(GPS)表面结构:区域法》5.GB/T34879-2017《光学三维测量系统校准规范》

检测设备

1.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦显微镜（12001200100μm量程）2.KeyenceVK-X3000：3D激光显微系统（Z轴分辨率0.1nm）3.ZygoNexviewNX2：白光干涉仪（垂直扫描速度50mm/s）4.MitutoyoQuickVisionPro：影像测量系统（双远心镜头）5.BrukerContourGT-X3：光学轮廓仪（20物镜NA=0.4）6.NikonMM-400N：三坐标测量机（空间精度1.1+L/300μm）7.HexagonOptivPerformance443：多传感器测量机（CCD分辨率24482050）8.ZeissAxioImager2：金相显微镜（电动Z轴行程25mm）9.ThorlabsDCC1545M：USB3.0工业相机（像素尺寸3.45μm）10.PIP-616NanoCube：纳米定位台（闭环分辨率0.03nm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。