检测项目

1.泄漏率检测：测量范围110⁻⁵至110⁻⁰Pam/s，精度5%

2.气密性测试：压力范围0.1Pa至100kPa，保压时间≥30min

3.渗透率分析：水蒸气透过率0.001-100g/m24h

4.残余气体成分：质谱分析灵敏度达110⁻⁸Torr

5.真空维持能力：系统抽速≥1000L/s，极限真空≤510⁻⁴Pa

检测范围

1.金属焊接件：航天燃料贮箱、核反应堆密封容器

2.高分子材料薄膜：食品包装复合膜、OLED柔性屏封装层

3.电子元器件：芯片级封装器件、高功率激光管壳

4.生物医疗制品：血液透析器膜组、疫苗西林瓶胶塞

5.复合材料结构：碳纤维储氢罐、飞机舷窗多层玻璃

检测方法

ASTME499:氦质谱检漏法测定密封件泄漏率

ISO15105-1:塑料薄膜水蒸气透过率真空压差法

GB/T32211-2015:真空衰减法包装密封性试验

MIL-STD-750F:半导体器件内部水汽含量测试

JISZ2331:气泡法粗漏检测实施规范

检测设备

INFICONUL1000Fab氦质谱检漏仪：最小可检漏率510⁻Pam/s

LeyboldLAB-IE真空机组：极限真空510⁻⁴Pa，抽速1600L/s

MOCONAquatran水蒸气透过仪：测试精度0.001g/m24h

Agilent5977BGC/MSD：残余气体分析质量数范围1-1050amu

ThermoScientificHCD-X真空烘箱：温度均匀性1℃@200℃

PfeifferASM340检漏模块：集成式四极杆质谱传感器

EdwardsSTP-A4503分子泵：转速90000rpm,无油抽气系统

KurtJ.LeskerAXXIS真空室：304不锈钢腔体,CF法兰接口

BrooksSLA5850质量流量计：量程0-1000sccm,精度1%F.S.

VacuumTechnologyIncPDR900数字压力计：量程110⁻⁴至1000Torr

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。