检测项目

1.焦距偏差：测量实际焦距与标称值差异（0.05mm）2.光轴偏移量：量化光轴与机械基准轴偏离角度（≤3'）3.像面倾斜度：评估焦平面与传感器平面平行度（≤0.02）4.调制传递函数（MTF）：在30lp/mm空间频率下对比度≥0.65.焦深容差：验证景深范围内分辨率衰减不超过15%

检测范围

1.光学镜头：含定焦/变焦工业相机模组2.激光加工头：聚焦镜组与振镜系统集成组件3.显微镜物镜：10-100消色差/平场物镜4.内窥镜光学系统：直径Φ2mm-Φ10mm医用硬镜5.投影光刻机：步进式曝光系统聚焦模块

检测方法

ASTME903-20《材料透射率与反射率标准测试》ISO9334:2012《光学系统焦深评估方法》GB/T7661-2009《光学零件表面疵病检测规范》ISO10110-5:2015《光学元件面形公差测试》GB/T10988-2009《光学系统杂散光系数测量》

检测设备

1.ZYGOVeriFire干涉仪：波长632.8nm，面形精度λ/202.TriopticsMTF测试仪（型号ImageMasterPro）：空间频率0-200lp/mm3.Mitutoyo坐标测量机（CMM-CrystaApexS）：三维定位精度1.5μm4.OptikosCGH全息靶标：基底尺寸Φ150mm，衍射级次55.OphirSpiricon光束分析仪（SP928）：CCD分辨率192010806.KeyenceLT-9010激光位移计：量程10mm，线性度0.05%FS7.ThorlabsR5S360旋转平台：角度分辨率0.0018.NewportM-462-XM线性位移台：行程100mm，重复精度0.5μm9.EdmundOpticsMTF对比度标板（USAF1951）：线宽0.25-228lp/mm10.SCHOTTMLA150微透镜阵列：单元尺寸150μm150μm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。