检测项目

1.电子束流强度：测量范围0.1nA-10μA，误差≤0.5%2.聚焦电压稳定性：0-30kV可调范围，波动率＜0.01%/h3.束斑直径偏差：基准值0.1-5μm时允许偏差3%4.阴极发射均匀性：场发射电流密度≥10A/cm时离散度＜5%5.真空度维持能力：工作压力≤110⁻⁶Pa时泄漏率＜510⁻⁹Pam/s

检测范围

1.场发射阴极材料（钨单晶/氧化锌纳米线阵列）2.电磁聚焦透镜组件3.高压绝缘陶瓷部件（Al₂O₃/Si₃N₄基材）4.电子束敏感薄膜（厚度50-200nm金属/半导体层）5.超高真空密封系统（金属密封法兰/陶瓷馈通件）

检测方法

1.ASTME112-13《电子枪束流均匀性测试规程》2.ISO14606:2015《电子光学系统真空性能评估》3.GB/T18907-2013《微束分析扫描电镜能谱仪通用技术条件》4.IEC61336:1996《核仪器高压电源测试方法》5.GB/T28871-2012《电子显微镜X射线能谱仪分析方法》

检测设备

1.Keithley2636B源表：双通道精密电流/电压测量（分辨率0.1fA）2.AgilentU1253B高压探头：30kV耐压/0.05%精度直流测量3.FEIVerios460L扫描电镜：0.6nm分辨率束斑分析系统4.LeyboldPHOENIXL300检漏仪：氦质谱灵敏度510⁻Pam/s5.PfeifferVacuumHPT200真空计：量程10⁻⁹~1000Pa全量程覆盖6.TektronixDPO7254示波器：2.5GHz带宽/40GS/s采样率7.BrukerQuantax200能谱仪：129eV能量分辨率@MnKα8.KeysightB2902A精密电源：210V/3ADC输出/1μV电压分辨率9.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：0.12μm横向分辨率10.ThermoScientificESCALABXi+表面分析系统：XPS/AES联用分析

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。