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文章概述：电子显微镜：可用于观察沉积层的微观结构，检测是否存在裂缝。
X 射线衍射仪：用于分析沉积层的晶体结构，判断是否存在缺陷。
扫描电子显微镜：能提供高分辨率的图像，帮助检测沉积层表
电子显微镜：可用于观察沉积层的微观结构，检测是否存在裂缝。
X 射线衍射仪：用于分析沉积层的晶体结构，判断是否存在缺陷。
扫描电子显微镜：能提供高分辨率的图像，帮助检测沉积层表面的裂缝。
超声波检测仪：可检测沉积层内部的裂缝和缺陷。
