离子半导体检测
检测项目
载流子浓度:测量范围1×10¹³~1×10²⁰ cm⁻³
迁移率:霍尔迁移率(0.1~10⁴ cm²/(V·s))
缺陷密度:深能级缺陷(≥0.1 eV)
界面态密度:阈值电压漂移(±5%内)
热稳定性:工作温度范围-196℃~300℃
检测范围
氧化物离子半导体(如ZrO₂、TiO₂基材料)
硫系离子半导体(Ag₂S、Cu₂S薄膜)
固态电解质材料(LiPON、NASICON型结构)
有机-无机杂化钙钛矿材料
薄膜/块体半导体器件(厚度50 nm~5 mm)
检测方法
霍尔效应测试:ASTM F76 / GB/T 1550-2018
阻抗谱分析:IEC 62631-3-1 / GB/T 3389-2015
深能级瞬态谱法:ISO 18552:2016
X射线光电子能谱:ISO 19830:2015
热重-差示扫描量热联用:ASTM E1131 / GB/T 19466.1-2004
检测设备
霍尔效应测试系统:Lakeshore 8400系列(四探针法测量载流子参数)
阻抗分析仪:Keysight E4990A(频率范围20 Hz~120 MHz)
扫描电子显微镜:Thermo Fisher Apreo 2(分辨率0.8 nm@1 kV)
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。