检测项目
1.极限真空度：测量机组在稳定运行时的最低压力值（典型范围：10-3~10-5Pa）2.抽气速率曲线：记录不同入口压力下的体积流量（单位：m/h或L/s）3.泄漏率测试：采用氦质谱法测定系统漏率（阈值≤110-9Pam/s）4.温升特性：监测连续运行8小时后的轴承与壳体温差（允许ΔT≤45℃）5.噪音水平：依据ANSIS12.51测量1米距离声压级（限值≤75dB(A)）
检测范围
1.半导体制造设备的分子泵前置机组2.真空镀膜机的工艺腔体抽气系统3.R134a/R404A制冷剂兼容型旋片泵组4.高温烧结炉用耐腐蚀扩散泵机组5.医用CT设备X射线管真空维持系统
检测方法
1.ISO21360-1:2012《真空技术-真空泵性能测量方法》第5章容积式泵测试规程2.GB/T19956.1-2005《容积真空泵性能测量方法第1部分：体积流率的测定》3.ASTME2931-13《氦质谱检漏仪校准标准实践》4.JB/T1246-2017《油封机械真空泵噪声限值》5.DIN28426:2018《真空技术-蒸汽喷射泵与扩散泵的验收规范》
检测设备
1.LeyboldCTR90复合真空计（量程105~10-8Pa）2.INFICONHLD5000氦质谱检漏仪（灵敏度510-12Pam/s）3.Agilent490MicroGC气体分析仪（分辨率0.8nm）4.Fluke438-II电能质量分析仪（功率测量精度0.5%）5.Bruel&Kjaer2250声级计（频率范围6Hz~20kHz）6.KeysightDAQ970A数据采集系统（16位ADC,100kS/s）7.EdwardsXDS35i干式涡旋泵（基础压力510-3mbar）8.PfeifferVacuumTPG256A压力传感器（量程10-9~1100mbar）9.ThermoScientificHeratherm恒温箱（控温精度0.3℃）10.ShimadzuLC-20AD液压测试台（压力范围0~40MPa）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
