界面态检测
检测项目
1.界面态密度(Dit):测量范围为110⁹-110cm⁻eV⁻
2.能级分布特性:能量范围覆盖0.1-1.5eV
3.捕获截面分析:精度达110⁻⁶-110⁻cm
4.时间常数测试:响应时间分辨率0.1μs-10s
5.温度依赖性研究:温控范围77-500K
检测范围
1.硅基半导体材料(单晶硅/多晶硅)
2.III-V族化合物半导体(GaN/AlGaN异质结)
3.有机光电材料(OLED/OPV活性层)
4.金属氧化物薄膜(HfO₂/Al₂O₃栅介质)
5.光伏电池组件(PERC/TOPCon结构界面)
检测方法
1.深能级瞬态谱法(DLTS):依据ASTMF1248-20
2.电容-电压特性法(C-V):符合GB/T18910.21-2022
3.光致发光谱分析(PL):参照ISO14707:2020
4.交流阻抗谱技术(EIS):执行GB/T39143-2020
5.热激电流法(TSC):采用IEC62805-2:2017标准
检测设备
1.KeysightB1500A半导体分析仪:支持高频C-V与脉冲I-V测试
2.LakeShoreCRX-4KProbeStation:77-500K变温测试平台
3.Agilent4156C精密参数分析仪:分辨率达0.1fA/1μV
4.Bio-RadDL8000深能级瞬态谱系统:时间常数测量精度3%
5.HoribaLabRAMHREvolution显微拉曼光谱仪:空间分辨率0.5μm
6.Keithley4200A-SCS参数分析仪:支持多通道并行测试
7.JanisST-500超低温恒温器:最低温度10K
8.ThermoScientificESCALABXi+XPS:表面态化学分析精度0.1at%
9.OxfordInstrumentsOptistatDN2闭循环制冷系统:控温稳定性0.1K
10.BrukerDimensionIcon原子力显微镜:表面形貌与电势同步表征
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。