检测项目
1.真空度范围验证：测量范围110⁻⁵Pa至110Pa，覆盖全量程线性测试2.精度误差分析：在232℃环境下进行0.5%FS的示值误差检测3.零点漂移测试：连续工作8小时内的零点偏移量≤0.2%FS4.响应时间测定：从10Pa降至10⁻Pa的响应时间≤3秒5.温度系数校准：-10℃至50℃范围内输出变化率≤0.05%/℃
检测范围
1.半导体制造设备的工艺腔室真空监测2.光学镀膜设备的真空系统性能评估3.航天器热真空试验舱的压强控制验证4.医用灭菌设备的真空保持能力测试5.高能物理实验装置的超高真空环境校准
检测方法
1.ISO3567:2011《真空计校准方法》规定的比对法校准流程2.ASTME2971-16关于真空计线性度测试的标准程序3.GB/T3163-2007《热阴极电离真空计》技术要求与试验方法4.JJG2024-2019《真空计量器具检定系统表》的强制检定要求5.DIN28416Part2对真空计温度补偿特性的测试规范
检测设备
1.INFICONCDG025D电容薄膜规：0.1Pa至133kPa量程基准2.AgilentUHV-24P电离规：110⁻⁰Torr至110⁻Torr超高真空校准3.MKS670B信号调理器：多通道数据采集与误差分析4.LeyboldTWG102涡轮分子泵组：建立10⁻⁷Pa基准真空环境5.VACUBRANDMD4C真空控制器：自动压力阶梯控制与记录6.Fluke725Ex过程校准仪：4-20mA输出信号精度验证7.TESTO760多功能环境记录仪：温度/湿度同步监测8.PfeifferHPT200氦质谱检漏仪：系统密封性验证9.Keysight34465A数字万用表：电压/电流参数精密测量10.BronkhorstEL-PRESS压力控制器：动态压力模拟与响应测试
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
