检测项目

1.表面元素结合能测定：测量范围0-1500eV，分辨率≤0.5eV

2.化学态半定量分析：相对误差＜5%，检出限0.1at%

3.深度剖面分析：溅射速率0.1-10nm/min（Ar+离子束）

4.价带结构表征：能量范围-20eV至EF（费米能级）

5.界面扩散层厚度测量：精度0.3nm（角分辨XPS模式）

检测范围

1.金属及合金镀层（Ni-P、Zn-Ni等）表面氧化态分析

2.半导体器件（GaN、SiC）界面掺杂浓度分布

3.高分子材料（PE、PTFE）表面官能团鉴定

4.锂离子电池电极材料（NCM、LFP）价态演变研究

5.催化剂（Pt/C、Co-Mo-S）活性位点化学环境表征

检测方法

ASTME2865-12(2020)：XPS仪器校准与数据报告规范

ISO15472:2010：表面化学分析-XPS能量标尺校准程序

GB/T28894-2012：表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱测定峰强度的方法

GB/T19500-2004：X射线光电子能谱分析方法通则

ISO20903:2019：俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的重复性和一致性验证方法

检测设备

1.ThermoScientificESCALABXi+：配备单色化AlKα源（1486.6eV），能量分辨率0.45eV

2.ULVAC-PHIQuantesPro：集成Ar团簇溅射枪（20kV），支持有机材料深度剖析

3.KratosAXISSupra：配置延迟线检测器（DLD），实现快速成像XPS分析

4.JEOLJAMP-9500F：场发射俄歇微探针，空间分辨率达6nm

5.SPECSPHOIBOS150：多通道电子能量分析器，角度分辨精度0.1

6.BrukerD8ADVANCE：掠入射XRD联用系统（GI-XRD），晶相结构同步分析

7.HORIBALabRAMHREvolution：共聚焦显微拉曼光谱仪（532/633nm激光源）

8.Agilent5500SPM：原子力显微镜（AFM），Z轴分辨率0.1nm

9.OxfordInstrumentsAZtecLive：能谱仪（EDS）模块，元素面分布成像速度＞100kcps

10.RBD1471电子倍增器：脉冲计数模式信噪比＞10000:1

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。