检测项目

1.元素种类鉴定：识别样品中原子序数≥3（锂及以上）的元素组成2.原子含量测定：定量分析元素占比（精度0.1at%）3.化学价态分析：通过结合能偏移确定元素氧化态（分辨率0.1eV）4.深度分布分析：纵向原子浓度梯度（探测深度0-10μm）5.表面原子密度：单位面积原子数统计（误差5%）

检测范围

1.半导体材料：硅晶圆、GaN外延层中的掺杂原子浓度2.金属合金：钛铝合金中Al/Ti原子比测定3.纳米材料：量子点表面配体原子覆盖率4.催化剂：铂基催化剂活性位点原子分布5.生物医学材料：骨植入物表面钙磷原子比例

检测方法

1.X射线光电子能谱（XPS）：ISO15472:2010表面元素分析2.能量色散X射线光谱（EDS）：ASTME1508-2012微区成分分析3.二次离子质谱（SIMS）：GB/T32281-2015深度剖析4.俄歇电子能谱（AES）：GB/T26533-2011纳米级表面分析5.电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）：ISO17294-2:2016痕量元素定量

检测设备

1.ThermoFisherESCALABXi+XPS系统：配备单色化AlKα源（1486.6eV），空间分辨率≤10μm2.BrukerXFlash6|60EDS探测器：能量分辨率≤123eV@MnKα3.CAMECAIMS7fSIMS仪器：质量分辨率M/ΔM≥10,0004.ULVAC-PHI710AES分析仪：电子束直径<10nm5.Agilent8900ICP-MS三重四极杆系统：检出限低至ppt级6.OxfordInstrumentsAZtecOneEBSD系统：晶体取向与原子排列关联分析7.JEOLJEM-ARM300F球差校正电镜：原子级分辨率元素成像8.PerkinElmerNexION350DICP-MS：动态反应池消除质谱干扰9.ShimadzuEPMA-8050G电子探针：波长色散谱仪定量精度0.5%10.HORIBALabRAMHREvolution拉曼光谱仪：空间分辨率达250nm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。