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文章概述：真空系统严密性检测常用的仪器有：
1. 真空度检测仪：用于测量真空系统的真空度。常见的真空度检测仪有热导真空度计、离子真空度计、毛细管真空度计等。
2. 漏气检测仪：用于检测
真空系统严密性检测常用的仪器有：
1. 真空度检测仪：用于测量真空系统的真空度。常见的真空度检测仪有热导真空度计、离子真空度计、毛细管真空度计等。
2. 漏气检测仪：用于检测真空系统是否存在漏气现象。常见的漏气检测仪有氦质谱漏气检测仪、干式漏气检测仪等。
3. 液体浸渍试验仪：用于检测真空系统的密封性能。通过将真空系统浸入液体中观察是否有气泡产生，从而判断密封性能。
4. 热膨胀系数测量仪：用于检测真空系统中材料的热膨胀性能。通过测量材料在不同温度下的长度变化，来计算热膨胀系数。
