检测项目
1.表面粗糙度：Ra0.1-100nm范围测量2.平面度误差：λ/20精度（λ=632.8nm）3.薄膜厚度：1nm-50μm多层膜结构分析4.三维形貌：Z轴分辨率0.1nm5.台阶高度：0.5nm-1mm量程测量
检测范围
1.光学元件：透镜/棱镜/反射镜表面质量2.半导体晶圆：硅片翘曲度与刻蚀深度3.MEMS器件：微结构三维形貌表征4.金属材料：精密加工件表面完整性5.功能薄膜：ITO/AR镀层厚度均匀性
检测方法
ASTME2245-23白光干涉法表面粗糙度测量规范ISO10110-8:2020光学元件面形误差测试方法GB/T1800.3-2022产品几何技术规范(GPS)平面度评定GB/T11337-2023平面度误差测量通用规则ISO25178-604:2013非接触式三维表面测量标准
检测设备
1.ZygoNewView9000：相移干涉仪，最大视场300mm2.TaylorHobsonCCIHD：相干扫描干涉仪，垂直分辨率0.01nm3.BrukerContourGT-X8：白光干涉显微镜，50~150物镜组4.NikonNEXIVVMZ-S6520：激光干涉测长系统，线性精度0.1μm/m5.MitutoyoMF-U1000A：非接触式三维轮廓仪，最大扫描速度50mm/s6.Keysight5500A：动态信号分析仪（环境振动监测）7.RenishawXL-80：激光干涉校准系统，线性测量精度0.5ppm8.PolytecMSA-600：微系统分析仪（动态形变测量）9.OlympusLEXTOLS5000：激光共聚焦干涉显微镜，1200万像素CCD10.KLATencorMicroXAM-800：相移干涉表面轮廓仪，RMS重复性＜0.01nm
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
