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电子级氢氟酸检测

检测项目

金属杂质含量:铁、铜、锌等痕量元素检测,测量范围0.01-100ppb,精度±0.5%(ASTM D1976)

酸度:氢氟酸浓度测定,范围0.1-50%,误差±0.05%(GB/T 601)

水分含量:卡尔费休法测试,检测限0.001%,分辨率0.0001%(ISO 760)

氟离子浓度:离子色谱分析,范围1-1000mg/L,准确度±0.1%(GB/T 15453)

硫酸盐含量:比浊法测量,检测限0.1mg/L,标准偏差±2%(ISO 7875)

氯离子含量:电位滴定法,范围0.05-500mg/L,精度±0.02%(ASTM D512)

硝酸盐含量:紫外分光光度法,检测限0.05mg/L,线性范围0.1-100mg/L(GB/T 5750)

颗粒物计数:激光散射技术,尺寸检测0.1-100μm,计数效率>95%(ISO 13320)

沸点:蒸馏法测定,范围20-150°C,温度控制±0.1°C(ASTM D86)

比重:密度计测量,精度0.0001g/cm³,标准条件25°C(GB/T 4472)

总有机碳:燃烧氧化法,检测限0.01mg/L,回收率98-102%(ISO 8245)

外观:目视检查,符合无色透明液体要求,无悬浮物(SEMI C10)

不挥发物:蒸发残渣法,检测限0.001%,干燥温度105°C(GB/T 6324)

pH值:电极法测量,范围0-14,分辨率±0.01(ISO 1842)

电导率:电导仪测试,范围0.1-1000μS/cm,校准精度±1%(ASTM D1125)

检测范围

半导体晶圆清洗液:用于硅片表面处理,确保无金属残留

集成电路蚀刻液:在芯片制造中移除氧化层,控制酸度稳定性

光伏电池制造用酸:太阳能电池生产中的表面处理剂

LED外延片处理液:蓝宝石衬底清洗,要求低颗粒物含量

微电子封装材料:封装胶黏剂中的添加剂,监测杂质水平

光学镜头清洁剂:镜头镀膜前处理,需高纯度以避免雾化

实验室高纯度试剂:科研级氢氟酸,用于精密实验

工业氢氟酸升级产品:从工业级提纯至电子级,验证纯度提升

电子化学品存储液:长期储存稳定性测试,防止降解

纳米材料合成用酸:碳纳米管制备中的蚀刻介质

平板显示器制造液:LCD/OLED面板清洗,控制离子污染

传感器元件处理剂:MEMS器件蚀刻,确保酸浓度一致

电池电解液添加剂:锂离子电池中氟化物含量调控

光刻胶去除剂:光刻后清洗,要求低TOC含量

化学机械抛光液:CMP工艺中的组分,检测金属杂质

检测方法

电感耦合等离子体质谱法:依据ASTM D1976测定痕量金属杂质,检测限0.01ppb

自动滴定法:执行GB/T 601进行酸度分析,终点判定精度±0.01mL

卡尔费休库仑法:采用ISO 760测量水分含量,电流分辨率1μA

离子色谱分析法:参照GB/T 15453检测氟离子,色谱柱温度控制±0.5°C

硫酸钡比浊法:符合ISO 7875测定硫酸盐,浊度计校准误差±1%

银量电位滴定法:依据ASTM D512分析氯离子,电极响应时间<5s

紫外可见分光光度法:执行GB/T 5750测试硝酸盐,波长准确度±0.5nm

激光衍射颗粒计数法:采用ISO 13320评估颗粒物,采样体积1mL

蒸馏沸点测定法:依据ASTM D86确定沸点,冷凝效率>90%

振荡管密度计法:参照GB/T 4472测量比重,温度补偿范围0-50°C

总有机碳燃烧法:采用ISO 8245分析TOC,氧化炉温度680°C

目视检查法:依据SEMI C10进行外观评估,光照强度1000lux

蒸发残渣重量法:执行GB/T 6324测定不挥发物,恒重精度±0.1mg

玻璃电极pH测定法:符合ISO 1842测量pH值,缓冲液校准三点法

电导率电极法:依据ASTM D1125测试电导率,频率1kHz

检测设备

ICP-MS质谱仪:型号XYZ-9000,用于痕量金属检测,质量范围2-260amu

自动滴定仪:型号ABC-5000,酸度分析精度±0.001mL,支持多终点判定

卡尔费休水分仪:型号DEF-200,水分检测范围0.001-100%,库仑法原理

离子色谱仪:型号GHI-3000,氟离子分析流速1.0mL/min,抑制器技术

紫外分光光度计:型号JKL-400,波长范围190-1100nm,带宽2nm

激光颗粒计数器:型号MNO-100,颗粒尺寸检测0.1-500μm,采样率1次/s

蒸馏沸点仪:型号PQR-600,温度控制±0.1°C,冷凝管长度300mm

数字密度计:型号STU-700,比重测量精度0.0001g/cm³,温度传感器内置

北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】

报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期:7~15工作日,可加急。

资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试:支持定制化试验方案。

售后:报告终身可查,工程师1v1服务。

电子级氢氟酸检测
其他检测

中析研究所可进行各种检测分析服务,包括不限于:标准试验,非标检测,分析测试,认证设计,产品验收,质量内控,矢量分析,内部控制,司法鉴定等。可出具合法合规、具有公信力的第三方检测报告。