检测项目

浮游菌浓度监测：

• 细菌浓度：CFU/m³计数（参照ISO14698-1）
• 真菌浓度：CFU/m³计数（参照ISO14698-2）

采样参数设置：

• 采样流量：28.3L/min±5%（参照ISO14698-1）
• 采样时间：5-30分钟可调（参照GB/T25915.1）

环境参数影响：

• 温度影响：20-25℃范围监测（参照ISO14698-1）
• 湿度影响：40-60%RH范围监测（参照GB/T25915.1）

微生物种类鉴定：

• 细菌种类鉴定：革兰氏染色阳性/阴性分析（参照ISO14698-2）
• 真菌种类鉴定：霉菌/酵母菌分离培养（参照GB/T25915.1）

动态变化分析：

• 浓度波动率：每小时变化率计算（参照ISO14698-1）
• 沉降风险评估：CFU沉降速率分析（参照GB/T25915.1）

洁净度评估：

• 空气洁净等级：ISOClass5-7符合性验证（参照ISO14644-1）
• 微生物限值：≤1CFU/m³达标率（参照GB/T25915.1）

风险评估：

• 污染概率计算：基于历史数据模型（参照ISO14698-1）
• 控制策略有效性：抑制率≥95%验证（参照GB/T25915.1）

数据记录与分析：

• 实时数据采集：采样间隔≤10秒（参照ISO14698-1）
• 统计分析方法：标准差计算（参照GB/T25915.1）

标准符合性检查：

• 国际标准符合：ISO14698系列验证（参照ISO14698-1）
• 国家标准符合：GB/T25915系列验证（参照GB/T25915.1）

控制策略验证：

• UV照射效果：菌落抑制率≥90%（参照ISO14698-2）
• HEPA过滤效率：≥99.97%颗粒去除（参照GB/T25915.1）

检测范围

1.晶圆加工区：主要监测空气中浮游菌浓度，检测重点为微生物沉降对晶圆表面的污染风险。

2.光刻区：高洁净度环境，检测重点为紫外线照射下的菌落抑制效果和动态浓度变化。

3.蚀刻区：化学处理区域，检测重点为酸碱性环境对微生物存活率的影响。

4.清洗区：水基清洗环节，检测重点为湿度波动导致的微生物繁殖风险。

5.包装区：成品处理区，检测重点为人员活动引发的浮游菌浓度峰值。

6.走廊通道：人员流动频繁区，检测重点为风速变化对微生物扩散的影响。

7.设备维护区：设备检修点，检测重点为油污和尘埃混合微生物的浓度监测。

8.人员休息区：非洁净区，检测重点为温度舒适度对微生物生长的促进作用。

9.空气处理单元：HVAC系统输出点，检测重点为HEPA过滤前后的微生物去除效率。

10.表面接触点：设备表面和门把手，检测重点为间接空气传播微生物的沉降速率。

检测方法

国际标准：

• ISO14698-1:2003生物污染控制-空气浮游菌评估方法
• ISO14698-2:2003生物污染控制-表面微生物评估方法
• ISO14644-1:2015洁净室及相关受控环境-空气洁净度分级

国家标准：

• GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境-第1部分:空气洁净度分级
• GB/T25915.2-2021洁净室及相关受控环境-第2部分:微生物污染控制
• GB/T16293-2010医药工业洁净室(区)浮游菌测试方法

国际标准通常采用Andersen采样器进行主动采样，而国家标准GB/T系列更侧重被动沉降法；ISO标准要求采样流量精确控制±5%，GB标准允许±10%流量偏差；ISO14698系列强调实时动态监测，GB标准则更注重静态点采样；在培养基选择上，ISO标准推荐TSA培养基，GB标准允许SDA培养基用于真菌检测；ISO洁净度分级基于粒子计数，GB标准则结合微生物限值进行综合评估。

检测设备

1.浮游菌采样器：MAS-100型（流量28.3L/min，精度±5%）

2.微生物培养箱：MemmertIPP260型（温度范围0-60℃，精度±0.5℃）

3.生物显微镜：OlympusBX53型（放大倍数40-1000X，分辨率0.2μm）

4.实时粒子计数器：LighthouseSolair3100型（粒径范围0.3-10μm，采样率1L/min）

5.温湿度记录仪：Testo175-H1型（温度范围-20-70℃，湿度范围0-100%RH，精度±0.5℃）

6.风速计：KanomaxClimomaster6501型（风速范围0-30m/s，精度±0.1m/s）

7.UV强度计：LutronUVC-254型（波长254nm，强度范围0-2000μW/cm²）

8.离心机：Eppendorf5430R型（转速100-15000rpm，容量50ml）

9.自动菌落计数器：InterscienceScan120型（计数范围0-10000CFU，精度±1%）

10.数据采集系统：NationalInstrumentscDAQ-9178型（采样频率100Hz，通道数8）

11.HEPA过滤器测试仪：TSI8130型（过滤效率测试≥99.97%，流量范围0-100L/min）

12.气相色谱仪：Agilent8890型（检测限0.1ppm，柱温范围-80-450℃）

13.生物安全柜：EscoAirstreamAC2-4S1型（气流流速0.5m/s，洁净度ClassII）

14.离心浓缩器：LabconcoCentriVap型（真空度0.1mbar，温度范围-50-60℃）

15.数字显微镜相机：LeicaDFC450型（分辨率500万像素，帧率30fps）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。