检测项目
几何精度检测：
- 平面度检测：局部平面度偏差（≤0.01mm/100×100mm）、全局平面度（ISO 12781）
- 直线度检测：轴线偏差（≤3μm/m）、线性位移误差（VDI 3441）
- 水平度检测：相对水平偏差（±0.02mm/m）、绝对水平角（ISO 8512-2）
- 导轨平行度：运动轴线平行公差（≤5μm/300mm）
- 俯仰角偏差：垂直面内角度波动（±2 arcsec）
- 基础振动量：振幅（≤2μm pk-pk）、频率（1-100Hz）
- 温度梯度影响：热变形系数（≤0.5μm/℃·m）
- 地脚螺栓预紧力：扭矩偏差（±5%设定值）
- 垫铁接触面积：有效接触率（≥85%）
- 沉降变形监测：累计位移量（≤10μm/年）
- 应力松弛量：预紧力损失率（≤3%/1000h）
- 激光束准直度：光束偏移量（≤0.001°）
- 干涉仪波长补偿：大气折射率修正（Edlen公式）
- 传感器线性度：满量程误差（≤±0.1%FS）
- 采样频率：数据采集速率（≥100Hz）
- 轴承游隙：轴向间隙（≤3μm）
- 传动刚性：扭矩变形角（≤0.001°/Nm）
- 基础混凝土强度：抗压强度（≥C30 GB/T 50081）
- 钢结构蠕变量：长期变形率（≤5μm/m·年）
- 防沉降结构有效性：紧急调平行程（≥±5mm）
- 抗震装置性能：阻尼系数（≥0.15）
检测范围
1. 精密机床基础： 五轴加工中心混凝土基座，重点检测基础沉降梯度与热变形协调性
2. 半导体光刻设备： 晶圆曝光台花岗岩基板，要求水平度≤0.001mm/m且隔振频率≤3Hz
3. 大型天文望远镜： 回转支承安装平面，检测球面度误差≤2μm及方位角正交性
4. 风电塔架基础： 预应力锚板水平度，控制法兰面倾斜≤0.1°（IEC 61400-6）
5. 同步辐射装置： 直线加速器磁铁基座，需保证100m长度内直线度≤50μm
6. 航天器测试平台： 振动试验台基础，要求模态频率偏差≤5%且阻尼均匀性≥90%
7. 高铁轨道板： CRTSⅢ型无砟轨道，检测承轨台高程差≤0.3mm/10m（TB 10754）
8. 粒子对撞机隧道： 超导磁体安装基准，控制平面度≤0.05mm/m@4K低温环境
9. 船舶推进轴系： 艉轴承支承面，检测相邻轴承同轴度≤0.05mm（ISO 484）
10. 大型水轮机组： 座环安装平面，要求周向波浪度≤0.02mm/m（GB/T 10969）
检测方法
国际标准：
- ISO 8512-2:2020 机床检验通则-基础水平调校方法
- ISO 230-1:2023 机床检验规范-几何精度评定
- VDI 3441:2021 导轨系统运动精度检测规程
- ASME B89.3.7-2013 激光跟踪仪测量系统认证
- GB/T 11337-2021 平面度误差检测方法
- GB/T 17421.1-2020 机床检验通则-基础水平测定
- JJG 117-2019 电子水平仪检定规程
- JJF 1664-2017 激光跟踪仪校准规范
检测设备
1. 激光跟踪仪： API T3型（测距精度±0.5μm/m，最大测量半径80m）
2. 电子水平仪： WYLER Clinomic 4（分辨率0.001mm/m，量程±10°）
3. 全站式激光准直系统： LEICA AT960（角度精度0.5 arcsec，测距精度0.6mm+1ppm）
4. 液位式水平系统： HAMAR L-743（精度0.025mm/30m，温度补偿范围-20~50℃）
5. 激光干涉仪： RENISHAW XL-80（线性分辨率1nm，最大测量速度4m/s）
6. 精密电子经纬仪： TRIMBLE S9（测角精度0.5 arcsec，自动补偿范围±6'）
7. 多点支撑监测系统： GEOSENSE WGMS-100（分辨率0.001mm，通道数128）
8. 三维激光扫描仪： FARO Focus S350（扫描精度±1mm，点频2,000,000点/秒）
9. 静力水准仪： SOLINST LT500（精度±0.1%FS，量程100mm）
10. 惯性测量单元： OXTS RT3000（倾角精度0.01°，频率100Hz）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
