蒸发法检测-检测项目
检测项目
蒸发残留物检测:
- 总蒸发残留量:非挥发性物质含量(≤0.01mg/cm²,ISO4524-6)
- 离子残留检测:钠离子(≤0.1μg/cm²)、氯离子(≤0.05μg/cm²)
- 微粒计数:粒径≥0.5μm颗粒数(≤50个/cm²)
- 挥发速率:梯度升温失重率(80-150℃)
- 相变温度:差示扫描量热法(DSC峰值±0.5℃)
- 接触角:去离子水接触角(θ≤85°)
- 表面张力:悬滴法测量(72±2mN/m)
- 晶型判定:X射线衍射(2θ角分辨率0.01°)
- 晶体尺寸:扫描电镜观测(1nm分辨率)
- GC-MS分析:C6-C30碳链检出限(0.1ppm)
- TOC总量:总有机碳(≤10μg/cm²)
- ICP-MS检测:铜、镍、铬迁移量(≤0.01μg/cm²)
- 电化学剥离:阳极溶出伏安法(ASV)
- 膜厚测量:椭圆偏振仪(±0.1nm精度)
- 色差值:CIEL*a*b*系统(ΔE≤1.0)
- 盐雾试验:中性盐雾96h(ISO9227)
- 电化学阻抗:相位角(-80°至-85°)
- 分解温度:5%失重温度(Td5≥200℃)
- 灰分含量:800℃灼烧残留(≤0.1%)
- 电导率:超纯水电导率(≤0.1μS/cm)
- pH值波动:蒸发过程pH变化(±0.3)
检测范围
1.半导体晶圆:硅片/砷化镓表面金属离子污染检测,重点控制钠、钾、铁离子残留
2.医用植入器械:钛合金/钴铬合金关节表面清洗剂残留,检测有机溶剂蒸发痕迹
3.航空航天合金:铝合金/钛合金结构件脱脂洁净度,氟氯离子总量控制
4.电子接插件:镀金端子表面有机膜层,检测苯骈三氮唑蒸发残留
5.光学器件:镜片涂层溶剂残留,重点监测乙二醇醚类蒸发曲线
6.动力电池集流体:铜箔/铝箔涂布液残留,NMP溶剂检出限0.1ppm
7.食品包装材料:复合膜印刷溶剂残留,苯类物质≤0.01mg/m²
8.核级锆合金管:酸洗后表面氟离子渗透,控制限值0.05μg/cm²
9.光伏硅片:制绒液残留检测,硝酸/氢氟酸蒸发轨迹分析
10.精密轴承:淬火油残留量测定,GC-MS检测多环芳烃组分
检测方法
国际标准:
- ISO4524-6:2020金属镀层蒸发残留物测定法
- ASTME1078-2021表面污染物采样规程
- IEC60749-25:2022半导体器件表面离子分析
- GB/T20017-2022金属表面蒸发残留物的测定
- GB/T32433-2016电子器件表面洁净度分级
- GB31604.8-2021食品接触材料蒸发残渣测试
检测设备
1.旋转蒸发仪:BUCHIR-300型(真空度0.1mbar,控温精度±0.1℃)
2.百万分之一天平:MettlerXP504(量程520g,分辨率0.001mg)
3.离子色谱仪:ThermoICS-6000(检测限0.1ppb,阴离子柱AS22)
4.激光粒径仪:MalvernMastersizer3000(0.01-3500μm范围)
5.接触角测量仪:KRÜSSDSA100(倾斜台精度±0.01°)
6.X射线衍射仪:BrukerD8ADVANCE(Cu靶Kα辐射)
7.热重分析仪:NETZSCHTG209F3(升温速率0.1-100K/min)
8.场发射电镜:ZeissGemini500(分辨率0.6nm@15kV)
9.气相色谱质谱联用仪:Agilent8890/5977B(EI源70eV)
10.电感耦合等离子体质谱:PerkinElmerNexION350D(反应池技术)
11.椭圆偏振仪:J.A.WoollamM-2000V(光谱范围245-1700nm)
12.电化学工作站:MetrohmAutolabPGSTAT204(频率范围10μHz-1MHz)
13.盐雾试验箱:WeissSC450(温度均匀度±1.5℃)
14.超纯水系统:MerckMilli-QIQ7000(电阻率18.2MΩ·cm)
15.恒温蒸发台:LabTechEV342(温控范围
北京中科光析科学技术研究所【简称:中析研究所】
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。