检测项目
光斑直径与能量分布：测量范围0.1μm-10mm，分辨率达0.5μm，分析高斯分布、平顶分布等模式
光束发散角：检测精度±0.05mrad，适用波长190-2000nm
M²因子测定：依据ISO 11146-1标准，测量误差≤3%
功率密度稳定性：连续监测72小时，波动率≤±1.5%
热透镜效应评估：量化分析10W-10kW激光器热畸变量，Zernike系数解析精度达λ/50
检测范围
金属材料加工系统：光纤激光切割机、焊接机光束质量验证
光学元件：透镜/反射镜的波前畸变检测（PV值≤λ/20）
医疗激光设备：眼科Nd:YAG激光、皮肤治疗CO₂激光的FDA合规性检测
科研级激光器：超快激光（脉宽＜100fs）的空间-时间特性分析
显示面板制造设备：激光退火/剥离工艺的束流均匀性验证
检测方法
刀口法扫描：依据ISO 11145标准，空间分辨率达0.1μm
CCD阵列分析：采用12bit动态范围相机，符合ASTM E2672-09要求
移动狭缝法：基于ISO 13694的功率密度分布测试，扫描速度0.01-100mm/s可调
干涉波前检测：执行DIN EN ISO 15367-1标准，测量精度λ/100 RMS
热成像分析法：通过FLIR A65红外热像仪实现非接触式热效应监测
检测设备
Ophir SP928激光光束分析仪：配备1200万像素CMOS，支持Wavelength 190-1100nm
Primes FocusMonitor：双狭缝扫描系统，最大功率密度检测达50MW/cm²
Zygo Verifire MST干涉仪：4D动态波前分析，重复精度0.1nm RMS
Coherent BeamView Plus：实时M²测量，采样频率1kHz
Keysight N1913A功率计：0.01μW-50W量程，校准溯源至NIST标准
技术优势
CNAS认可实验室（编号L1234）：检测数据获ILAC-MRA国际互认
恒温恒湿环境：温度控制±0.5℃，振动等级符合ISO 10816-1 Class 1
多物理场耦合分析：同步采集光/热/机械振动数据
军用标准执行能力：满足GJB 7243-2011激光参数测试要求
自动化检测系统：基于LabVIEW平台开发，实现DIN 32563规定的过程可追溯性
