检测项目
面形精度：RMS≤λ/10（λ=632.8nm），PV值≤λ/4
环带间距误差：轴向偏差≤±0.5μm，径向偏差≤±1μm
表面粗糙度：Ra≤0.8nm，Rz≤5nm（采样长度0.08mm）
材料均匀性：折射率偏差Δn≤±5×10⁻⁶
涂层附着力：划格法测试达到ASTM D3359 Class 4B标准
检测范围
菲涅尔波带片：用于X射线聚焦光学系统
相位型波带板：应用于激光干涉计量装置
多层镀膜波带板：适用于极紫外光刻系统
聚合物基波带阵列：微型光学传感组件
金属基渐变波带板：高功率激光传输系统
检测方法
面形检测：ISO 10110-5干涉测量法，GB/T 2831-2021光学元件面形评定
环带定位：ASTM F529-18激光衍射定位法，ISO 14999-4环带结构公差检测
粗糙度测试：GB/T 131-2023接触式轮廓仪法，ISO 4287非接触白光干涉法
材料分析：GB/T 7962.1-2021应力双折射检测，ASTM E131-20折射率分布测量
涂层检测：ISO 9211-4环境耐久性测试，GB/T 1771-2022盐雾试验
检测设备
Zygo Verifire HD激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm，面形检测精度λ/100
Bruker Contour GT-K白光轮廓仪：垂直分辨率0.01nm，横向分辨率0.4μm
Shimadzu UV-3600i Plus分光光度计：波长范围185-3300nm，光谱分辨率0.1nm
Mitutoyo CMM-Crysta 12000三坐标仪：空间精度(0.6+L/600)μm，最小步进0.01μm
Olympus LEXT OLS5000激光共聚焦显微镜：12000×光学放大，Z轴分辨率1nm
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
