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文章概述：远区场检测是一种用于光学系统的非接触式测量方法，可以用于检测光学元件的形变、折射率变化、光束传输等性能。
以下是常用于远区场检测的仪器：
1. 干涉仪：干涉仪是一种利用干
远区场检测是一种用于光学系统的非接触式测量方法，可以用于检测光学元件的形变、折射率变化、光束传输等性能。
以下是常用于远区场检测的仪器：
1. 干涉仪：干涉仪是一种利用干涉现象来测量光学元件性能的仪器。常见的干涉仪有简单的Michelson干涉仪和更复杂的自动干涉仪。
2. 激光光源：激光光源用于提供窄带宽、高亮度的光束，用于干涉仪的光源。
3. 干涉计：干涉计用于测量干涉仪中的干涉现象，通常使用位移测量或相位测量的方法来得到测试结果。
4. CCD相机：CCD相机用于捕捉干涉仪中的干涉图样。图像可以用于后续的数据分析和处理。
5. 数据分析软件：数据分析软件用于处理和分析从干涉仪和CCD相机获得的数据，如计算形变、折射率变化等。
