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文章概述：1. 扫描电子显微镜(SEM)：用于观察样品表面形貌，可以检测窄沟效应的程度。
2. 原子力显微镜(AFM)：可以进行纳米级的表面形貌测量，用于评估窄沟效应的特征尺寸和形状。
3. 聚焦离
1. 扫描电子显微镜(SEM)：用于观察样品表面形貌，可以检测窄沟效应的程度。
2. 原子力显微镜(AFM)：可以进行纳米级的表面形貌测量，用于评估窄沟效应的特征尺寸和形状。
3. 聚焦离子束(FIB)：利用离子束在样品表面进行刻蚀和切割，用于制备剖面样品，并可以观察到窄沟效应的存在与否。
4. 电子束光刻机(EBL)：用于在样品表面进行高精度的光刻加工，制备纳米尺度的结构，可以用于研究窄沟效应的影响。
