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文章概述：激光干涉仪：可用于测量平面度、平行度等，精度高。
三坐标测量机：能够精确测量平面的几何形状和位置。
投影仪：用于检测平面的形状和尺寸。
水平仪：测量平面的水平度。
卡尺：可进行
激光干涉仪：可用于测量平面度、平行度等，精度高。
三坐标测量机：能够精确测量平面的几何形状和位置。
投影仪：用于检测平面的形状和尺寸。
水平仪：测量平面的水平度。
卡尺：可进行简单的平面尺寸测量。
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