无杂质半导体检测通常包括对半导体材料的物理、化学、电学性能的测试，以确保其纯度和质量符合要求。

晶体结构分析：通过 X 射线衍射等技术确定半导体的晶体结构。

杂质含量检测：使用各种分析方法检测半导体中的杂质元素含量。

电阻率测量：确定半导体的电阻特性。

霍尔效应测试：测量半导体中的载流子浓度和迁移率。

电容-电压（C-V）特性测试：评估半导体的电学性能。

少数载流子寿命测量：了解半导体中的少数载流子寿命。

光致发光（PL）测试：检测半导体的发光特性。

深能级瞬态谱（DLTS）测试：分析半导体中的深能级缺陷。

热导率测量：确定半导体的热传导性能。

热膨胀系数测试：评估半导体在温度变化时的尺寸稳定性。

表面形貌分析：使用显微镜等工具观察半导体表面的形态。

化学稳定性测试：检验半导体对化学物质的抵抗能力。

电学稳定性测试：评估半导体在不同电学条件下的性能稳定性。

光学性能测试：测量半导体的折射率、吸收系数等光学参数。

红外吸收光谱测试：分析半导体中的化学键和杂质。

拉曼光谱测试：研究半导体的晶格振动和缺陷。

原子力显微镜（AFM）测试：观察半导体表面的微观结构。

扫描电子显微镜（SEM）测试：分析半导体的表面形貌和微观结构。

能量色散 X 射线光谱（EDS）分析：确定半导体中的元素组成。

二次离子质谱（SIMS）分析：检测半导体中的痕量杂质。

热重分析（TGA）：测量半导体在加热过程中的质量变化，评估热稳定性。

差示扫描量热法（DSC）：分析半导体在加热过程中的热行为。

X 射线光电子能谱（XPS）分析：确定半导体表面的化学成分和化学状态。

俄歇电子能谱（AES）分析：研究半导体表面的元素组成和化学状态。

电子顺磁共振（EPR）测试：检测半导体中的未成对电子。

核磁共振（NMR）测试：分析半导体中的化学键和结构。

量子效率测试：评估半导体在光电器件中的性能。

发光二极管（LED）性能测试：测量半导体 LED 的发光效率和光谱特性。

太阳能电池性能测试：评估半导体太阳能电池的转换效率和电学性能。

集成电路（IC）性能测试：检测半导体在集成电路中的性能和可靠性。