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文章概述：X 射线衍射仪：通过分析衍射图谱来确定晶体结构和位错密度。
电子显微镜：可直接观察到位错的形态和分布。
原子力显微镜：用于测量材料表面的形貌和结构，包括位错。
X 射线衍射仪：通过分析衍射图谱来确定晶体结构和位错密度。
电子显微镜：可直接观察到位错的形态和分布。
原子力显微镜：用于测量材料表面的形貌和结构，包括位错。
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