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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
电子显微镜：可以直接观察位错的形态和分布。
原子力显微镜：提供高分辨率的表面形貌和位错信息。
透射电子显微镜：用于研究位错的微
X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
电子显微镜：可以直接观察位错的形态和分布。
原子力显微镜：提供高分辨率的表面形貌和位错信息。
透射电子显微镜：用于研究位错的微观结构和运动。
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