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文章概述：X 射线衍射仪：通过分析 X 射线衍射图谱，确定晶体结构中的位错密度和类型。
电子显微镜：可直接观察晶体中的位错形态和分布。
原子力显微镜：用于测量晶体表面的位错形貌和分布。
X 射线衍射仪：通过分析 X 射线衍射图谱，确定晶体结构中的位错密度和类型。
电子显微镜：可直接观察晶体中的位错形态和分布。
原子力显微镜：用于测量晶体表面的位错形貌和分布。
光学显微镜：在某些情况下，可用于观察位错的宏观特征。
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