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文章概述：电子显微镜：可以直接观察到位错空洞的形态和分布。
X 射线衍射仪：用于分析晶体结构，可检测到位错空洞引起的晶格畸变。
原子力显微镜：能够提供高分辨率的表面形貌图像，有助于检测
电子显微镜：可以直接观察到位错空洞的形态和分布。
X 射线衍射仪：用于分析晶体结构，可检测到位错空洞引起的晶格畸变。
原子力显微镜：能够提供高分辨率的表面形貌图像，有助于检测位错空洞。
扫描电子显微镜：可以观察样品表面的微观结构，包括位错空洞。
透射电子显微镜：可用于研究材料的微观结构和缺陷，包括位错空洞。
