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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
透射电子显微镜：可以直接观察位错的形态和分布。
扫描电子显微镜：用于观察材料表面的位错特征。
原子力显微镜：能够提供高分辨率的
X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和位错密度。
透射电子显微镜：可以直接观察位错的形态和分布。
扫描电子显微镜：用于观察材料表面的位错特征。
原子力显微镜：能够提供高分辨率的表面形貌信息，包括位错。
电子背散射衍射仪：用于确定晶体取向和位错类型。
