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文章概述：X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和残余应力。
电子背散射衍射仪：可用于测量晶体取向和残余应力。
中子衍射仪：适用于测量材料内部的残余应力。
X 射线衍射仪：用于分析晶体结构和残余应力。
电子背散射衍射仪：可用于测量晶体取向和残余应力。
中子衍射仪：适用于测量材料内部的残余应力。
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