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文章概述：X 射线衍射仪：可用于检测晶体结构和位错密度。
扫描电子显微镜：可用于观察弯曲位错的形态和分布。
原子力显微镜：可用于检测位错的微观结构和表面形貌。
电子背散射衍射仪：可用
X 射线衍射仪：可用于检测晶体结构和位错密度。
扫描电子显微镜：可用于观察弯曲位错的形态和分布。
原子力显微镜：可用于检测位错的微观结构和表面形貌。
电子背散射衍射仪：可用于分析位错的晶体取向和分布。
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